作者:admin 发布时间:2020-05-16 16:00 浏览次数 :
化学气相沉积技能是应用气态物质在固体长举办化学回响并发生固态沉积物的一种工艺。它大抵包括三步:
(1)形成挥发性物质;
(2)把上述物质转移至沉积区域;
(3)在固体上发生化学回响并发生固态物质。
根基的化学气相沉积回响包罗热解析回响、化学合成回响以及化学传输回响等会合。
工艺特点
(1)在中温或高温下,通过气态的初始化合物之间的气相化学回响而形成固体物质沉积在基体上。
(2)可以在常压可能真空条件下(负压“举办沉积、凡是真空沉积膜层质量较好)。
(3)回收等离子和激光帮助技能可以显著地促进化学回响,使沉积可在较低的温度下举办。
(4)涂层的化学身分可以随气相构成的改变而变革,从而得到梯度沉积物可能获得殽杂镀层。
(5)可以节制涂层的密度和涂层纯度。
(6)绕镀件好。可在巨大形状的基体上以及颗粒质料上镀膜。适合涂覆各类巨大形状的工件。由于它的绕镀机能好,所以可涂覆带有槽、沟、孔,甚至是盲孔的工件。
(7)沉积层凡是具有柱状晶体布局,不耐弯曲,但可通过各类技能对化学回响举办的气相扰动,以改进其布局。
(8)可以通过各类回响形成多种金属、合金、陶瓷和化合物涂层。